Гексафторуэтан (C 2 F 6 ), также известный как перфторуэтан, является своего рода бесцветным, без запаха, неплохим инертным газом. Его температура плавления составляет 100,6 ℃, температура кипения составляет 78,2 ℃, слегка растворим в воде. Из-за нетоксичной, без запаха и высокой стабильности гексафторуэтан широко используется в процессе производства полупроводников. Гексафторуэтан, в качестве сухого травления, имеет преимущества очень небольшого травления на границе, высокой скорости травления и высокой точности, что может соответствовать требованиям процесса производства полупроводников для малой ширины линии.
Спецификация качества
|
Items
|
Unit
|
Indexs
|
|
C2F6
|
Vol.%
|
≥99.999
|
|
O2+Ar
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
N2
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CO
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
CO2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
H2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
Halohydrocarbon
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CH4
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
H2O
|
Vol.ppm
|
＜2
|
|
Acidity（Measured by HF）
|
Wt.ppm
|
＜0.1
|
|
Total impurity content
|
Mol.ppm
|
≤10
|
Приложение
Электронный гексафторуэтан используется в основном в производственном процессе полупроводниковых материалов и полупроводниковых устройств в качестве травления и чистящего агента, а также изоляционного газа и высокой диэлектрической прочности.
Упаковка и хранение
Гексафторуэтан наполняется чистыми и сухими беспрепятственными цилиндрами со специальной обработкой. Объем цилиндра составляют 4L, 8L, 10L, 12,5L и 40L и т. Д. Спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями клиентов.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd.-это высокотехнологичное предприятие, инвестированное и созданное Shandong Zhongshan Group Co., Ltd., которое объединяет исследования и разработки, пилотные тесты и индустриализацию. Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd. имеет исследовательскую и разработанную группу из 200 человек, в основном включающих профессоров, исследователей, постдоков, врачей, мастеров и студентов. Компания сделала ряд инновационных технологических достижений после нескольких лет развития. Было применено более 50 патентов, а в последние 3 года было разрешено 30 патентов на изобретение.
Компания создает пилотную платформу для НИОКР в 5000 м2, в том числе ряд полных оборудования для поддержки и передовую функцию тестовых и пилотных устройств, таких как высокий чистый фториновый газ, специальные функциональные фторированные углеродные материалы, полупроводниковые материалы (высокие чистые электронные газы/ электронные химикаты) , высокая конкретная энергия аккумулятор, электролиты литийной батареи и добавки, тепловые аккумуляторы и связанные с ним материалы, фотоэлектрические материалы, стабильные изотоп и его производные материалы, фторированные биомедицинские материалы и т. Д. Связанные области новых материалов и оборудования. Компания создала расширенный центр анализа и тестирования для НИОКР и производства всех проектов.
В то же время компания построила первую крупномасштабную производственную линию флуорографии и функциональной лаборатории оценки производительности фторуглеродных материалов по всему миру, и он стал единственным производителем, который может массово производить и обеспечивать высококачественный флуорограф в домашних условиях за границу до сих пор.
Contact Now
