Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Модель: Hexafluoroethane
Инкотермс: FOB,CIF,DDP
Гексафторуэтан (C2F6), также известный как перфторуэтан, является своего рода бесцветным, без запаха, неплохого инертного газа. Его температура плавления составляет 100,6 ℃, температура кипения составляет 78,2 ℃, слегка растворим в воде. Из-за нетоксичной, без запаха и высокой стабильности гексафторуэтан широко используется в процессе производства полупроводников. Гексафторуэтан, в качестве сухого травления, имеет преимущества очень небольшого травления на границе, высокой скорости травления и высокой точности, что может соответствовать требованиям процесса производства полупроводников для малой ширины линии.
Гексафторуэтановая спецификация качества :
Items | 单位 Unit | Indexs |
C2F6 | Vol.% | ≥99.999 |
O2+Ar | Vol.ppm | <1 |
N2 | Vol.ppm | <5 |
CO | Vol.ppm | <0.5 |
CO2 | Vol.ppm | <0.5 |
H2 | Vol.ppm | <0.5 |
Halohydrocarbon | Vol.ppm | <5 |
CH4 | Vol.ppm | <1 |
H2O | Vol.ppm | <2 |
Acidity(Measured by HF) | Wt. ppm | <0.1 |
Total impurity content | Mol.ppm | ≤10 |
Электронный гексафторуэтан используется в основном в производственном процессе полупроводниковых материалов и полупроводниковых устройств в качестве травления и чистящего агента, а также изоляционного газа и высокой диэлектрической прочности.
Упаковка и хранение:
Гексафторуэтан наполняется чистыми и сухими беспрепятственными цилиндрами со специальной обработкой. Объем цилиндра составляют 4L, 8L, 10L, 12,5L и 40L и т. Д. Спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями клиентов.
Группа Продуктов : Полупроводниковые материалы > Гексафторуэтановые полупроводниковые материалы процесса
мобильный сайт
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.