Травление материалов для электронных цепей perfluorobutadiene

$9999

≥100
Ton

Инкотермс:

FOB,CIF,DDP

Количество минимального заказа:

100 Ton

Свяжитесь сейчас

Описание продукта

Атрибуты продукта
Возможности поставки ...
Упаковка и доставка

< >

Overview

Атрибуты продукта

Модель: Perfluorobutadiene

Возможности поставки ...

Место происхождения: КИТАЙ

Инкотермс: FOB,CIF,DDP

Упаковка и доставка

Продажа единиц жилья:: Ton

Внедрение продукции

Perfluorobutadiene (C4F6) - это своего рода бесцветный, без запаха и нерастворимый газ. Его температура плавления составляет 132,0 ℃, температура кипения составляет 5,9 ℃. Перфторорутадиен является своего рода конъюгированным олефинами, который содержит шесть атомов фтора и две двойные углеродные двойные связи, в качестве своего рода превосходного газа травления из-за его уникального отношения F/C, перфтооробутадиен имеет более высокую селективность травления, точность и соотношение сторон, чем те, из Традиционные перфторированные насыщенные флуоруглеродные травления, перфторбутадиен может тратить менее 100 нм даже более узкую электронную цепь. Кроме того, C4F6 имеет более высокое селективное соотношение фоторезиста и нитрида кремния, чем у C4F8, что может улучшить стабильность травления, скорость травления и однородность и, таким образом, улучшить качество продукта.

Спецификация качества

Items	Unit	Index
C4F6	Vol.%	≥99.99
N2	Vol.ppm	≤10
O2+Ar	Vol.ppm	≤2
H2O	Vol.ppm	≤3
CO2	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
（Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Приложение

Используется в качестве травления газа для травления плазмы полупроводниковых продуктов.

Упаковка и хранение

Перфторобутадиен заполняется стальные цилиндры моделью B10, размером 14 см × 83 см, внутренний объем 10,1 л, валовой вес 14,7 кг, полезная нагрузка 10 кг. Спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями клиентов.

Группа Продуктов : Полупроводниковые материалы > Perfluorobutadiene Semiconductor Process Materials

Горячие продукты

Письмо этому поставщику

*Тема:
*к:

Mr. Rees Cho
*Электронная Почта:
*сообщение:

Ваше сообщение должно быть в пределах 20-8000 символов