Эффективный ЖК -дисплей, очиститель азота трифторид

$9999

≥100
Ton

Инкотермс:

FOB,CIF,DDP

Количество минимального заказа:

100 Ton

Свяжитесь сейчас

Описание продукта

Атрибуты продукта
Возможности поставки ...
Упаковка и доставка

< >

Overview

Атрибуты продукта

Модель: Nitrogen Trifluoride

Возможности поставки ...

Инкотермс: FOB,CIF,DDP

Упаковка и доставка

Продажа единиц жилья:: Ton

Внедрение продукции

Азотный трифторид (NF 3 ) - это своего рода бесцветный, без запаха и стабильный газ, он также является своего рода сильным окислителем. Его температура плавления составляет 206,8 ℃, температура кипения составляет 129,0 ℃, нерастворим в воде. Азотный трифторид в микроэлектронике представляет собой превосходный газ в плазме, который трескается в активный ион фтора во время процесса травления в плазме. Для плазменного травления нитрида кремния и кремния с использованием азота трифторида имеет более высокую скорость травления и селективность, чем использование углеродного тетрафлюрида или тетрафальторида углерода и кислорода, особенно при обработке цетралового материала с толщиной менее 1,5 мкм, особенно в процессе цетра Азотный трифторид обладает превосходной скоростью травления и селективности, более того, на поверхности загрязненного материала нет загрязнения, он также является хорошим чистящим средством.

Спецификация качества

Items	Unit	Indexs
（NF3）≥	Vol.%	99.5	99.9	99.98	99.99	99.996
（CF4）≤	Vol.ppm	1500	500	100	50	20
（N2）≤	Vol.ppm	700	50	10	10	5
（O2+Ar））≤	Vol.ppm	700	50	10	5	3
（CO）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（CO2）≤	Vol.ppm	25	10	10	5	0.5
（N2O）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（SF6）≤	Vol.ppm	50	50	10	5	2
Hydrolyzable fluoride （Measured by HF）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1
（H2O）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1

Приложение

Трифторид азота может использоваться в качестве источника фтора высокоэнергетического химического лазерного газа и в качестве травления для полупроводниковых материалов, таких как полисиликон, нитрид кремния и вольфрамовый силицид. Он также может быть использован в качестве чистящего агента для химической камеры осаждения паров и ЖК -панели. Трифторид азота используется в качестве чистящего средства для коробки сердечно -сосудистых заболеваний, который может снизить выбросы загрязняющих веществ на 90% по сравнению с перфторурублегами и значительно улучшить скорость очистки и чистящие способности.

Упаковка и хранение

Азотный трифторид E заполняется в бесшовном цилиндре стали с объемом 8L, 40L, 43,3L и 47L соответственно. Давление цилиндра составляет 9,0-13,0 МПа. Спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями клиентов.

Группа Продуктов : Полупроводниковые материалы > Азотные трифторидные полупроводниковые материалы процесса

Горячие продукты

Письмо этому поставщику

*Тема:
*к:

Mr. Rees Cho
*Электронная Почта:
*сообщение:

Ваше сообщение должно быть в пределах 20-8000 символов